日本Canon Tokki的蒸鍍機。 未來可卷曲、如紙一樣輕薄的各類終端屏幕主要選材是OLED(有機發光二極管),OLED生產過程重要的一環就是“蒸”,工藝難度。 真空蒸鍍機就如同OLED面板制程的“心臟”,被日本Canon Tokki獨占市場,說其掌握著OLED產業的咽喉也不過分,業界對它的年產量預測通常在幾臺到十幾臺之間。有錢也買不到,說的就是它。 可惜,目前我國還沒有生產蒸鍍機的企業,在這個領域我們沒什么發言權。 這臺設備就如同生產OLED面板的“入場券”。Canon Tokki能把蒸鍍誤差控制在5微米以內蒸鍍是OLED制造工藝的關鍵,直接影響著OLED屏幕顯示,蒸鍍機的工作就是把OLED有機發光材料、均勻、可控地蒸鍍到基板上。
作為OLED生產工藝來講,僅僅靠蒸鍍機就能夠完成全部工作?事實上,生產過程的工藝控制以及品質控制同樣重要。作為品質控制的重要組成部分,分析儀器在OLED液晶的生產過程所起的作用越來越被廠商所認識到并接受。
水滴角測試儀作為界面化學的分析儀器以來以服務于各大科研院所、學校的研發,特別是新材料的研發的形像而出現。但很少有人注意到其在電子、半導體行業的應用。中國臺灣企業作為先行者,自20世紀90年代開始即開始采購來自美國、日本、德國的水滴角測量儀,并利用其精密分析、靈敏度高的特性,提升電子材料生產、半導體、晶圓、液晶屏的制造工藝中。以來,德國和日本的水滴角測試儀以及特有的Young-Laplace方程擬合技術以及全自動分析功能,基本上在半導體和液晶行業形成了有效的技術壁壘。中國的水滴角測試儀廠商雖然一直在努力,但是,由于核心的算法技術仍停留在1950年代的圓擬合、橢圓擬合的量角器階段,因而,在半導體行業、液晶行業以來以邊角料的形像展現。在用戶看來,測試精度不高、測值結果不可信是國產水滴角測試儀的致命之處。
上海梭倫作為美國科諾中國戰略投資公司,于水滴角測試儀在中國的研制與技術推廣,是上海市、國家科技部創新基金扶持單位,擁有3項上海市高新成果轉化項目,20多項技術。上海梭倫并取得國家發明授權的阿莎算法(ADSA-RealDrop)算法,基于世界的A.W.Neumann教授的Young-Laplace方程擬合技術,并實現了應用于真正固體材料表面分析的非軸對接觸角測量,實現了對美、日、德三國儀器廠商的技術壁壘的突破,在技術水平以及應用可靠性、測值靈敏度方面均取得了重大突破,處于明顯的地位。
1、水滴角測試儀應用于OLED蒸鍍的技術要點包括:
(1)利用水滴角測試儀的阿莎算法可以靈敏分析水滴左、右角水滴角度值的的技術要點,測試蒸鍍材料以后的樣品表面的水滴角度值。如果出現水滴角度值左、右偏差超過1度的位置點,則說明蒸鍍均勻度不好;
(2)利用水滴角測試儀的阿莎算法可以測得固體材料表面的物理化學性質的特性,通過實際測試得到的被測試固體、被鍍固體的表面自由能、水接觸角值,并利用潤濕包絡圖,分析可潤濕性,研發新材料,改進新工藝。
(3)利用水滴角測試儀的探針液體-蒸餾水的高油污敏感度,測試材料的污染情況。
水滴角測試儀測得的干凈的材料的水滴角情況:可以看出,水滴角度值左、右幾乎保持一致。
水滴角測試儀測得的不干凈的材料的水滴角情況:可以看出,水滴角度值左、右相差較大。
同時通過如上兩張圖片對比可以看出,阿莎算法可以而靈敏地判斷出水滴角的變化,為分析均勻度或清潔度提供高效、可靠的方法。
2、水滴角測試儀與中國制的偽水滴角測試儀的區別在于:
水滴角測試儀要求算法能夠基于修正重力系數后,綜合將表面張力、接觸角參與運算并得到非軸對稱條件下水滴角值。而中國一些廠商宣稱的水滴角測試儀提供的WH法或量高法、橢圓擬合法或切線法,在實際中也可以測得左、右角度值。但是,
(1)這樣的左右角度值并沒有修正重力系數,與界面化學分析無關,因而這樣的所謂的水滴角測試儀的數據的科學性得不到
(2)另一方面,水滴角的變化即可能是由于液滴量的變化或重力影響造成的。而此時,如果不修正重力,出現微小的水滴角的變化,是本身材料的變化還是重力造成的,就無法判斷出來;
基于阿莎算法的真正的水滴角測試儀要求必須提供:
(1)水滴角測試儀必須提供樣品臺的微米級控制水平調整機構;
(2)水滴角測試儀必須提供鏡頭微米級控制的水平調整機構;
且如上兩個機構必須是獨立分開單獨運行。
而中國制造的很多不的所謂的水滴角測試儀不能提供如上功能,此時極可能出現的問題包括:
(1)出現的左、右角度值的變化是由于左、右傾斜的樣品臺造成的還是材料本身的原因?
(2)出現水平基線無法判斷(向上仰視)或向下俯視的情況,兩者均會導致角度變化。更為重要的是,俯視條件下,即使俯視角度是固定的,也是無法通過簡單的軟件將所測得的角度值進行修正,因而,不同的測試角度值,所修正的角度與測得的角度是非線性關系。因而,為可靠的解決方案是測試3D接觸角,這樣才可以解決問題。
具體的俯視1-5度條件下水滴角的影響值會在6-9%左右。了解更詳細信息,請訪問www.mmmuc.com 下載PPT資料
理想的條件下,液晶屏(OLED或LCD)的水滴角在頂視時應是這樣的理想圓形,在水滴角測試儀側視條件下,水滴角表面為左、右對稱。當然,如果儀器本身就無法判斷或判斷出左、右值,那就談不上符合液晶行業的應用了。